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J-GLOBAL ID：200903037665096110
基板搬送装置および露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996257365
Publication number (International publication number)：1998084027
Application date： Sep. 09, 1996
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 露光装置に用いて、その露光装置における露光ステージの軽量化を図り、スループットや露光精度を向上させる。【解決手段】 基板を搬送して可動ステージに受け渡す搬送ハンドを有する基板搬送装置において、前記搬送ハンドの機構内に、前記基板を該基板のパターン描画平面内と該平面に垂直な軸回りとに微動させる微動機構を設ける。
Claim (excerpt)：
基板を搬送して可動ステージに受け渡す搬送ハンドを有する基板搬送装置において、前記搬送ハンドの機構内に、前記基板を該基板のパターン描画平面内と該平面に垂直な軸回りとに微動させる微動機構を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2)：
FI (4)：
H01L 21/68
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 515 F
, H01L 21/30 515 G
