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J-GLOBAL ID：200903037668315131

電気的に調節可能な被覆

Inventor： ドルフマン,ベニアミン・エフ ,  ゴール,アービンド
Applicant, Patent owner： アドバンスト・リフラクトリー・テクノロジーズ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997501305
Publication number (International publication number)：1999508963
Application date： Jun. 05, 1996
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：

【要約】水素によって安定化されたダイヤモンド状炭素ネットワーク中の炭素、酸素によって安定化されたガラス状シリコンネットワーク、および要すれば、周期表の1-7bおよび8族からの元素を有するドーパント元素またはドーパント化合物の少なくとも1種の付加的なネットワークの相互侵入した原子規模のネットワークを有するダイヤモンド状ナノコンポジット固体物質を含んでなる、基材上の被覆としての、電気的に調節可能な被覆、並びにその製造および蒸着方法。

Claim (excerpt)：

水素によって安定化された第1ダイヤモンド状炭素ネットワーク、酸素によって安定化された第2ガラス状シリコンネットワーク、および要すれば、周期表の1-7bおよび8族からの元素を含む非導電性ドーパント元素または非導電性ドーパント化合物の少なくとも1種の付加的なネットワークを含んでなる相互侵入した原子規模のネットワークを有するダイヤモンド状物質から形成された調節可能な誘電性被覆を基材に適用することによって、基材上の導電性を抑制する方法。

IPC (7)：

C23C 14/06 ,  B05D 5/12 ,  B29D 9/00 ,  C01B 31/06 ,  C23C 16/42 ,  C30B 29/04 ,  H05H 1/24

FI (7)：

C23C 14/06 F ,  B05D 5/12 B ,  B29D 9/00 ,  C01B 31/06 Z ,  C23C 16/42 ,  C30B 29/04 X ,  H05H 1/24