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J-GLOBAL ID：200903037673834759

プローブカード

Inventor： 斉田 勝利 ,  佐野 國夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ヨコオ ,  東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン山梨株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993193338
Publication number (International publication number)：1995050321
Application date： Aug. 04, 1993
Publication date： Feb. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 多数本のプローブ針の細い先端側部を被検査体の電極と対応した微細ピッチで配列支持できると共に、それら各プローブ針の途中での曲りを最小限に抑えながら、その各プローブ針の太い基端側部を互いに干渉せずに且つ出来るだけ狭い平面積内に旨く配列固定できるプローブカードを提供することにある。【構成】 半導体チップの微細ピッチで配列する多数の電極パッドに先端を圧接して電気的接続を行う多数本のプローブ針31を、各々先端側部31aが細く途中から基端側部31cが太くし、且つその各プローブ針31の細い先端側部31aをガイド板に挿通して半導体チップの電極配列中心線O上に該電極と対応した微細ピッチPで垂直に配列支持すると共に、その先端側部31aの上方部分で折曲し、その上方の太い基端側部31cをプリント基板21に電極配列中心線O上から両側方に一本ずつ交互に偏倚して配列固定したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被検査体の微細ピッチで配列する多数の電極に先端を圧接して電気的接続を行う多数本のプローブ針をカード本体に実装してなるプローブカードにおいて、前記各プローブ針は各々先端側部が細く途中から基端側部が太くされ、且つその各プローブ針の細い先端側部をカード本体の針ガイド部に挿通して前記被検査体の電極配列中心線上に該電極と対応した微細ピッチで配列支持すると共に、その先端側部の上方部分で折曲し、その上方の前記太い基端側部をカード本体の針固定部に前記被検査体の電極配列中心線上から両側方に一本ずつ又は2本ずつ交互に偏倚して配列固定したことを特徴とするプローブカード。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26