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J-GLOBAL ID：200903037685273353

加速度センサ

Inventor： 伊藤 奈津子
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993132004
Publication number (International publication number)：1994342006
Application date： Jun. 02, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 質量部と支持部とこれらをつなぐ薄膜部から構成された加速度センサにおいて、高感度化、小型化を達成する。【構成】 質量部1と支持部2とこれらをつなぐ薄膜部3から構成される加速度センサにおいて、質量部と薄膜部の少なくとも一部分が加速度検出方向に重なり合う構造を持つ。これにより、質量部の質量減少を抑えて薄膜部を長く形成でき、高感度化を達成できる。また、質量部と支持部の間隙は薄膜部の長さに制限されず小さく形成することができ、加速度センサの小型化が達成できる。

Claim (excerpt)：

質量部と支持部とこれらをつなぐ薄膜部から構成され、検出加速度主軸方向で質量部と薄膜部の少なくとも一部分が重なり合う構造を持つことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  G01P 15/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-099356
  
• 特開平3-094168
  
• 特開平4-084725