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J-GLOBAL ID：200903037698796622

異物検査装置

Inventor： 伊藤 達男 ,  水口 信一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992076453
Publication number (International publication number)：1993281135
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体ウェハに形成された微細パターン中の異物を検出する。【構成】 複数の光源と試料からの散乱光を波長毎に分離する手段と偏光の向きに応じて分離する偏光ビームスプリッター21,22と各々のS偏光強度を測定する光電変換素子23,24と、信号処理回路とからなる。

Claim (excerpt)：

複数波長の光源群と、前記複数波長の光源群から出射した直線偏光を試料上の微小領域に入射させる手段と、前記直線偏光による散乱光を波長毎に分離する波長分離手段と、前記波長分離手段の後段に各波長毎に設けられた偏光分離手段と、分離されたS偏光成分の強度を測定する光電変換素子と前記光電変換素子の後段に設けられた信号処理手段とからなる異物検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/21 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/00 ,  H01L 21/66