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J-GLOBAL ID：200903037700708116

マイクロダンパ、及び該マイクロダンパを有するセンサ、アクチュエータ、プローブ、並びに該プローブを有する走査型プローブ顕微鏡、加工装置、情報処理装置

Inventor： 安田 進 ,  八木 隆行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997063771
Publication number (International publication number)：1998247118
Application date： Mar. 03, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明は、真空中でも減衰力を得ることができ、その減衰力を制御することができるマイクロダンパと、該マイクロダンパを有するセンサ、アクチュエータ、プローブ、並びに該プローブを有する走査型プローブ顕微鏡、加工装置、情報処理装置等を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、相対的に可動な第1の部材と第2の部材とを備えたマイクロ構造体の可動部の振動を制御するマイクロダンパにおいて、前記第1の部材と第2の部材のいずれか一方の部材に設けられた磁界発生手段と、該磁界発生手段に対向して他方の部材に設けられた導電性部材とによって、ダンピング力を働かせるようにしたマイクロダンパを構成したことを特徴とするものであり、また該マイクロダンパを用いてダンピング特性の優れた、センサ、アクチュエータ、プローブ、並びに該プローブを有する走査型プローブ顕微鏡、加工装置、情報処理装置を構成したことを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

相対的に可動な第1の部材と第2の部材とを備えたマイクロ構造体の可動部の振動を制御するマイクロダンパにおいて、前記第1の部材と第2の部材のいずれか一方の部材に設けられた磁界発生手段と、該磁界発生手段に対向して他方の部材に設けられた導電性部材とによって、ダンピング力を働かせるようにしたことを特徴とするマイクロダンパ。

IPC (4)：

G05D 19/02 ,  G01N 37/00 ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/00

FI (4)：

G05D 19/02 D ,  G01N 37/00 F ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/00