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J-GLOBAL ID：200903037715142879

気体中の粒子状物質の測定方法および装置

Inventor： クートラキス,ペトロス ,  ワン,ペン-ヨー ,  ウルフソン,ジャック・ミクハイル ,  スータス,コンスタンティノス
Applicant, Patent owner： プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996527666
Publication number (International publication number)：1999502303
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Feb. 23, 1999
Summary：

【要約】気体中の粒子状物質の量を測定する装置は、気体供給部、気体供給の下流にあり、気体供給部と気体的に連絡する第1の粒子状物質収集装置、および気体供給部の下流にあり、気体供給部と気体的に連絡する第2の粒子状物質収集装置を有する。気体供給部から第2の粒子状物質収集装置に至る気体は気体供給部からの気体が第2の粒子状物質収集装置に接触する前に、粒子除去装置を通過して粒子状物質が除去される。第1の粒子状物質収集装置と第2の粒子状物質収集装置の圧力差を測定する圧力センサー、および気体供給部から第1の粒子状物質収集装置および第2の粒子状物質収集装置へ気体を通過させる少なくとも1個のポンプが設けられている。

Claim (excerpt)：

気体供給部と、前記気体供給の下流にあり、前記気体供給部と気体的に連絡する第1の粒子状物質収集装置と、前記気体供給部の下流にあり、前記気体供給部と気体的に連絡する第2の粒子状物質収集装置であって、前記気体供給部から第2の粒子状物質収集装置に至る気体は前記気体供給部からの気体が前記第2の粒子状物質収集装置に接触する前に、粒子除去装置を通過して粒子状物質が除去され、前記第1の粒子状物質収集装置と前記第2の粒子状物質収集装置の圧力差を測定する圧力センサーと、前記気体供給部から前記第1の粒子状物質収集装置および前記第2の粒子状物質収集装置へ気体を通過させる少なくとも1個のポンプを含むことを特徴とする、気体中の粒子状物質の量を測定する装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特表平6-507240
  
• 特開昭61-178642
  
• 特開昭60-242341
  
• 特開昭62-130339
  
• 特開昭62-070732