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J-GLOBAL ID：200903037715962019
シート剥離装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005134321
Publication number (International publication number)：2006310699
Application date： May. 02, 2005
Publication date： Nov. 09, 2006
Summary：
【課題】 支持シートに表面実装型のワークを貼付け支持した積層体から支持シートを確実かつ能率よく剥離してワークを分離回収することができるシート剥離装置を提供する。【解決手段】 ワークを支持シートの下面に貼付け支持した下向き姿勢の積層体を保持テーブル9に吸着保持し、ワークwからはみ出た支持シートsの角部をチャック34によって把持し、その状態のままチャック34を上昇させるとともに、保持テーブル9をチャックの上昇速度に同調させて水平移動させる。【選択図】 図13
Claim (excerpt)：
支持シートに表面実装型のワークを貼付け支持した積層体から当該支持シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記ワークよりも幅広の支持シートの下面にワークを貼付け支持した下向き姿勢の前記積層体を載置保持する保持テーブルと、
前記支持シートの端部を把持するチャックと、
前記チャックと保持テーブルとを水平方向に相対移動させる駆動手段と、
前記相対移動に同調して前記チャックを上昇移動させるチャック昇降手段と、
を備えたことを特徴とするシート剥離装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L21/68 N
, H01L21/52 G
5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA38
, 5F031PA30
, 5F047BB19
, 5F047FA21
