高信頼性窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：小塩豊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992050993
Publication number (International publication number)：1993254943
Application date： Mar. 10, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】強度および靭性に優れていると共に、強度のばらつきが少なく、信頼性が高い窒化ケイ素質焼結体を提供する。【構成】 β型を80重量%以上含む原料粉末に、酸化物あるいは窒化物系の焼結助剤を0.2重量%以上10重量%以下添加して成形した後、500気圧以下の窒素ガス圧下で1600°C以上2100°C以下の温度で焼成し、さらに2気圧以上の窒素ガス圧下で1800°C以上2100°C以下の温度で粒成長の熱処理を行うことにより、気孔率5%以下,3点曲げ強さ500MPa以上,ワイブル係数40以上,破壊靭性7MPa√m以上の窒化ケイ素質焼結体を得る。

Claim (excerpt)：

気孔率5%以下,3点曲げ強さ500MPa以上,ワイブル係数40以上,破壊靭性7MPa√m以上であることを特徴とする高信頼性窒化ケイ素質焼結体。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平2-255573
特開平3-177307
特開昭63-089459

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