走査型プローブ顕微鏡およびその操作法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松下義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003117395
Publication number (International publication number)：2004163392
Application date： Apr. 22, 2003
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：

【課題】本発明の課題は、動的駆動のSPMにおいて変化する環境条件の中でもカンチレバーの共振付近でのQ値を最適にコントロールすることができるシステムを提供することにより、種々の物理量測定時の動作の安定性を向上させるとともに、測定感度の向上と測定値の再現性と定量性の向上をもたらすSPMを提供することにある。【解決手段】本発明の動的駆動のSPMは、カンチレバーの振動検出信号から速度を取り出す手段と、該信号を更にゲイン調整する可変増幅器と、該可変増幅器の出力信号を圧電手段等によりカンチレバーを強制振動させる通常の動的駆動方式における発振器の出力信号に重畳させる加算器とを備え、前記可変増幅器のゲインを調整することによりカンチレバーの共振値付近でのQを制御するものであって、環境変化に対して最適値にQを設定する機能を備えた。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

カンチレバーの振動検出信号から速度を取り出す手段と、該信号を更にゲイン調整する可変増幅器と、該可変増幅器の出力信号を圧電手段等によりカンチレバーを強制振動させる通常の動的駆動方式における発振器の出力信号に重畳させる加算器とを備え、前記可変増幅器のゲインを調整することによりカンチレバーの共振値付近でのQを制御するものであって、環境変化に対して最適値にQを設定する機能を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (1)：

G01N13/10

FI (1)：

G01N13/10 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

原子間力顕微鏡用能動型探針及びその使用方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-608203 Applicant：ナノデバイシィズインコーポレイテッド

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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