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J-GLOBAL ID：200903037766745772

AC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法

Inventor： 小岩 一郎 ,  見田 充郎 ,  金原 隆雄 ,  山中 綾
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 清水 守 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995019152
Publication number (International publication number)：1996212917
Application date： Feb. 07, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 発光効率が高く、しかも価格を低減できるAC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法を提供する。【構成】 AC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法において、電極が形成された基板103上に誘電体層を形成する工程と、この誘電体層上にミスト成膜装置101を用いてミスト成膜法によりMgO保護膜を形成する工程とを施す。

Claim (excerpt)：

AC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法において、(a)電極が形成された基板上に誘電体層を形成する工程と、(b)該誘電体層上にミスト成膜法によりMgO保護膜を形成する工程とを施すことを特徴とするAC型ガス放電パネルの保護膜の製造方法。

IPC (2)：

H01J 9/02 ,  H01J 11/02