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J-GLOBAL ID：200903037787794641

銅/窒化タンタル/五酸化タンタルの積載構造を有するMOM構造

Inventor： サイレッシュ マンシン マーチャント ,  ミンセオク オー ,  プラディップ クマー ロイ ,  イゥ-ヒューエン ウォン
Applicant, Patent owner： ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド
Agent (1)： 岡部 正夫 (外11名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000004534
Publication number (International publication number)：2000208705
Application date： Jan. 13, 2000
Publication date： Jul. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 銅/窒化タンタル/五酸化タンタルの積載構造を有するMOM構成を提供することにある。【解決手段】 本発明は、第1の電極と、第1の電極上に形成した五酸化タンタル層と、五酸化タンタル層上に形成した第1の障壁層と、第1の障壁層上に形成した第2の銅電極とを具備する、集積回路の金属-酸化物-金属(MOM)コンデンサを提供する。ある実施例では、MOMコンデンサの第1の障壁層が窒化タンタルである。

Claim (excerpt)：

集積回路の金属-酸化物-金属コンデンサであって、第1の電極と、前記第1の電極上に形成された五酸化タンタル層と、前記五酸化タンタル層上に形成された第1の障壁層と、前記第1の障壁層上に形成された銅を含有する第2の電極とを含む、集積回路の金属-酸化物-金属コンデンサ。

IPC (2)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822