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J-GLOBAL ID：200903037793182445

冷却装置

Inventor：
金尾 憲一

About 金尾 憲一

, 
楢崎 勝弘

About 楢崎 勝弘


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004220358
Publication number (International publication number)：2006041259
Application date： Jul. 28, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：
【課題】 本発明は、光や電磁波等の検出を行う検出器を冷凍機により冷却する冷却装置に関し、冷凍機から発生した振動が真空容器を介して、被冷却物に伝わることを抑制できると共に、冷却部と冷却ステージとの間の熱的な接続を十分に確保することのできる冷却装置を提供することを目的とする。【解決手段】 GM冷凍機70を支持する冷凍機支持体80と、冷凍機支持体80と振動的に分離され、真空容器41を支持する真空容器支持体100と、真空容器41と冷凍機支持体80との間を接続する真空ベローズ88と、第1の冷却部73と第1の冷却ステージ47との間を熱的に接続する複数の可撓性高熱伝導部材77と、第2の冷却部78と第2の冷却ステージ50との間を熱的に接続する複数の可撓性高熱伝導部材84とを設けた構成とした。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
真空容器と、 該真空容器の内部に配設され、冷却される被冷却物と 寒冷を発生させる冷却部を有した冷凍機と、 前記冷却部と熱的に接続される冷却ステージと、 前記冷凍機を支持する冷凍機支持体と、 該冷凍機支持体と振動的に分離され、前記真空容器を支持する真空容器支持体とを備えており、 前記真空容器と冷凍機支持体との間に、前記冷凍機で発生する振動が前記真空容器に伝達されるのを抑制する振動抑制部材を設け、かつ、前記冷却部と冷却ステージとの間に、可撓性を有すると共に高熱伝導性を有する可撓性高熱伝導部材を設けたことを特徴とする冷却装置。
IPC (4)：
H01L 39/04 ,  F25B 9/00 ,  F25B 9/14 ,  H01F 6/04
FI (5)：
H01L39/04 ,  F25B9/00 H ,  F25B9/00 Z ,  F25B9/14 530Z ,  H01F7/22 G
F-Term (6)：
4M114AA22 ,  4M114AA29 ,  4M114BB03 ,  4M114CC03 ,  4M114DA02 ,  4M114DA32
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 超電導磁石装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-290827   Applicant：株式会社東芝
Cited by examiner (6)
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