Pat
J-GLOBAL ID：200903037793665799
エネルギ分解及び角度分解電子分光用の結像装置、その方法及び分光器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
芦田 哲仁朗 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000183932
Publication number (International publication number)：2001035434
Application date： Jun. 20, 2000
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 散乱光像を広げることと像の分解能を高めて結像品質を高めた、エネルギ分布及び角度分布を有する粒子ビームを検出装置に結像させる結像装置、その方法及び分光器を得ること。【解決手段】 減速レンズ121-124を含み粒子ビーム108を実質的に平行にし平行になった粒子ビーム109の相互間の距離を粒子の角度分布に対応させる偏向装置120と、検出装置140と、偏向装置120と検出装置140の間に設けられカットオフ電界を形成するための電位を印加されて粒子をエネルギ選択的に透過する濾過装置130と、偏向装置120の前のサンプル側に設けられ偏向装置120から電気絶縁されて接地電位にされた、軸対称な段付き孔又は入り口グリッドを設けて成る。
Claim (excerpt)：
特定のエネルギ分布と角度分布を有する荷電粒子を含む粒子の粒子ビームを検出装置に結像するため、少なくとも1つの減速レンズを有し、粒子ビーム内に相互間の距離が該粒子の角度分布に対応する実質的に平行な粒子軌跡を形成する偏向装置と、減速電界を形成するために電位がバイアスされ、該粒子についてエネルギを選択的に透過させるように設けられた濾過装置とを具備し、該偏向装置の前方サンプル側に軸対称の段付き孔又は入り口グリッドの形に形成され、該偏向装置に対して電気絶縁され接地電位にされた入り口窓を該偏向装置と該検出装置との間に設けて成る結像装置。
IPC (4)：
H01J 37/244
, H01J 37/12
, H01J 37/29
, G01N 23/20
H01J 37/244
, H01J 37/12
, H01J 37/29
, G01N 23/20
