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J-GLOBAL ID：200903037843126983

磁気記録媒体の製造方法

Inventor： 野川 典和 ,  左近 祐之
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994196607
Publication number (International publication number)：1996063747
Application date： Aug. 22, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 基板装着用のトレーを、成膜装置内を循環移動させ、トレー上に基板を装着した後、成膜装置の成膜室に導入して成膜し、次いで成膜処理された基板を成膜装置から取り出すようにした磁気記録媒体の製造方法において、運転を継続した状態で成膜部のエラーを防止する。【構成】 成膜装置から移動してきたトレーに対し、除塵処理を施す。【効果】 成膜部のエラー原因となる、トレー上に付着した水素化カーボンの微粉末等のダストを、運転を継続した状態で効率的に除去することができる。成膜部のエラーを防止して、高品質な磁気記録媒体を高い歩留りにて生産性良く、効率的に製造することができる。

Claim (excerpt)：

基板装着用のトレーを、成膜装置内を循環移動させ、該トレー上に基板を装着した後、該成膜装置の成膜室に導入して成膜し、次いで成膜処理された基板を該成膜装置から取り出すようにした磁気記録媒体の製造方法において、該成膜装置から移動してきたトレーに対し、除塵処理を施すことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (3)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/56 ,  G11B 5/84