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J-GLOBAL ID：200903037859287430
自動外観検査装置の感度補正方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995012755
Publication number (International publication number)：1996201046
Application date： Jan. 30, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】 被検査対象物の表面状態が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥検出の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を提供する。【構成】 本発明の自動外観検査装置の感度補正方法は、照明光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光を撮像手段に取り込み、撮像手段で得られた対象物からの反射光の入光量を、予め設定された第1の基本入光量になるように照明光を制御して、被検査対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査において、上記反射光の入光量が照明光の制御により第1の基本入光量に制御できない際に、設定レベルの異なる第2の基本入光量になるように照明光を制御し、それに伴って検査の判断に使用する設定値を変更して検出感度の補正を行うことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
照明光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光を撮像手段に取り込み、撮像手段で得られた対象物からの反射光の入光量を、予め設定された第1の基本入光量になるように照明光を制御して、被検査対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査において、上記反射光の入光量が照明光の制御により第1の基本入光量に制御できない際に、設定レベルの異なる第2の基本入光量になるように照明光を制御し、それに伴って検査の判断に使用する設定値を変更して検出感度の補正を行うことを特徴とする自動外観検査装置の感度補正方法。
IPC (2)：
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