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J-GLOBAL ID：200903037863491807

電極基板の製造方法、及び液晶素子

Inventor： 山岸 弘一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 近島 一夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999137814
Publication number (International publication number)：2000330124
Application date： May. 18, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 製造工程の複雑化等を防止する。【解決手段】 図1(e)に示すように、タングステン106aは、スルーホール344の内部だけでなく絶縁膜343の表面に一部はみ出した状態に形成されている。したがって、ホール309aをスルーホール344から多少ずれた位置に形成した場合であってもタングステン106aと画素電極312との電気的接続を確保でき、ホール309aを形成する際の位置合わせが簡単となる。また、タングステン106aと遮光膜106bとを同時に形成することができるため、それぞれを別工程で形成する場合に比べて製造工程が簡略化される。

Claim (excerpt)：

基材に第1の導電部材を形成する工程と、前記基材及び前記第1の導電部材に重なる位置に第1の絶縁膜を形成する工程と、該第1の絶縁膜における前記第1の導電部材に対応する位置に第1のスルーホールを形成する工程と、前記第1の導電部材に接触されるように前記第1のスルーホールの少なくとも内部に第2の導電部材を形成する工程と、前記第2の導電部材と電気的に接続されるように第3の導電部材を形成する工程と、からなる電極基板の製造方法において、前記第1の絶縁膜及び前記第1のスルーホールを形成した後に、導電性及び遮光性を有する膜を、前記第1のスルーホールの内部から前記第1の絶縁膜の表面にかけて前記第1の導電部材に接触するように形成し、該導電性及び遮光性を有する膜における前記第1のスルーホールの周縁部を除去することによって、前記第1の導電部材に接触されると共に前記第1のスルーホールの内部から前記第1の絶縁膜の表面に一部はみ出した状態の第2の導電部材と、該第1の絶縁膜の表面であって前記第2の導電部材と離間した位置に配置された状態の遮光膜と、を同時に形成し、該遮光膜及び前記第2の導電部材に重なる位置に第2の絶縁膜を形成し、該第2の絶縁膜における前記第2の導電部材に対応する位置に第2のスルーホールを形成し、その後、前記第2の導電部材と電気的に接続されるように第3の導電部材を形成する、ことを特徴とする電極基板の製造方法。

IPC (4)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/1365 ,  G09F 9/00 342 ,  H01L 21/768

FI (4)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/00 342 C ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/90 A

F-Term (77)：

2H092JA25 ,  2H092JA36 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JA47 ,  2H092JB02 ,  2H092JB07 ,  2H092JB52 ,  2H092JB54 ,  2H092JB56 ,  2H092JB58 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KA10 ,  2H092KA18 ,  2H092KA24 ,  2H092KB13 ,  2H092KB22 ,  2H092KB25 ,  2H092MA03 ,  2H092MA27 ,  2H092NA27 ,  2H092PA06 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  2H092PA12 ,  2H092QA09 ,  2H092RA05 ,  5F033HH08 ,  5F033HH19 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ19 ,  5F033KK01 ,  5F033KK19 ,  5F033PP04 ,  5F033PP12 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR09 ,  5F033RR15 ,  5F033SS15 ,  5F033TT02 ,  5F033VV15 ,  5F033XX01 ,  5F033XX15 ,  5F033XX32 ,  5F033XX33 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435BB16 ,  5G435BB17 ,  5G435CC12 ,  5G435DD02 ,  5G435DD04 ,  5G435EE33 ,  5G435FF00 ,  5G435FF01 ,  5G435FF03 ,  5G435FF05 ,  5G435FF07 ,  5G435FF13 ,  5G435GG01 ,  5G435GG04 ,  5G435GG05 ,  5G435GG08 ,  5G435GG28 ,  5G435GG46 ,  5G435HH03 ,  5G435HH12 ,  5G435KK05