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J-GLOBAL ID：200903037867112550

照明光学系並びに該照明光学系を用いた露光装置および露光方法

Inventor： 大滝 桂
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998155302
Publication number (International publication number)：1999329036
Application date： May. 20, 1998
Publication date： Nov. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】 強度分布が不均一で空間的干渉性の比較的高い光束に基づいて、被照射面における干渉縞の形成が良好に抑えられた均一な照明を行う。【解決手段】 光源(51)から供給された光を入射端から射出端まで伝送するファイバー束(53)と、ファイバー束からの射出光束を集光して被照射面(55)を重畳的に照明する集光光学系(54)とを備えている。被照射面における干渉縞の形成を良好に抑えるために、ファイバー束の入射端における各ファイバー素線の配列および各ファイバー素線のファイバー長は、ファイバー束への入射光束の空間的干渉長とファイバー中での時間的干渉長とに基づいて設定されている。

Claim (excerpt)：

照明光を供給するための光源と、多数のファイバー素線を束ねて構成され、前記光源から供給された光を入射端から射出端まで伝送するためのファイバー束と、前記ファイバー束を構成する各ファイバー素線の射出端から射出された光束を集光して被照射面を重畳的に照明するための集光光学系とを備え、前記被照射面における干渉縞の形成を良好に抑えるために、前記ファイバー束の入射端における各ファイバー素線の配列および各ファイバー素線のファイバー長は、前記ファイバー束への入射光束の空間的干渉長と前記ファイバー束への入射光束のファイバー中での時間的干渉長とに基づいて設定されていることを特徴とする照明光学系。

IPC (6)：

F21V 8/00 ,  G02B 6/04 ,  G02F 1/1335 530 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (8)：

F21V 8/00 B ,  G02B 6/04 Z ,  G02F 1/1335 530 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 C ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 515 B