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J-GLOBAL ID:200903037868110410
プリント基板パターン検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993039700
Publication number (International publication number):1994249792
Application date: Mar. 01, 1993
Publication date: Sep. 09, 1994
Summary:
【要約】【目的】ランドレススルーホールを有するプリント基板を正確に検査する。【構成】このプリント基板パターン検査装置は、検査パターン7を光電変換スキャナ1で変換したビデオ信号dをデジタル画像データeに数値変換する前処理部2とデジタル画像データeを二値画像データfに変換する二値化回路3とから成る入力部6を備える。また、二値画像データfを細線化回路41で細線化した細線画像データgの分岐点・端点を抽出して分岐点画像データhとする分岐・端点検出回路42と分岐点画像データhをランドレス部分岐点抽出部43でランドレススルーホール部を抽出した分岐細線パターン画像データpを拡大し疑似欠陥除去マスクデータrとする拡大回路44とから成る疑似欠陥除去マスク発生部4と、疑似欠陥除去マスクデータr内を検査対象範囲外として二値画像データfとパターン設計基準とを比較し欠陥検出を行う設計基準検査部5とを備える。
Claim (excerpt):
検査対象パターンを二値画像データに変換する入力手段と、この二値画像データを用いて前記検査対象パターンのランドレススルーホール部の疑似欠陥除去マスクを発生させる疑似欠陥除去マスク発生手段と、この疑似欠陥除去マスク内を検査対象範囲外として前記二値画像データを用いてパターン設計基準と検査対象パターンとを比較し欠陥検出を行う設計基準検査手段とを備えることを特徴とするプリント基板パターン検査装置。
IPC (5):
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/60 400
, G06F 15/62 405
, H05K 3/00
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