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J-GLOBAL ID：200903037876662899

表面異物検査装置

Inventor： 上出 幸洋
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 山口 邦夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992126136
Publication number (International publication number)：1993322781
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】マルチチャンバーを用いたプロセスにおいて、検査のスループットを落とすことなく、高精度な表面異物検査を行うための、表面異物検査装置におけるバッファチャンバーおよびロードロックチャンバーを提供する。【構成】異物検査すべき被検査物を収容するための真空チャンバー1と、上記被検査物上の異物によって乱反射したレーザ光線を検出するための検出器と、上記被検査物を処理するための複数のチャンバーを結合するための搬送用チャンバー20を有する表面異物検査装置であって、上記被検査物を収容するための真空チャンバー1と上記搬送用チャンバー20との間にバッファチャンバー2を設け、上記バッファチャンバー2が、第1側壁3cに設けられた第1開口部3aと、上記被検査物を載置するための保持台5と、上記保持台5に載置された被検査物を上記真空チャンバー1へ搬出するため、第2側壁4cに設けられた第2開口部4aとを有する。

Claim (excerpt)：

異物検査すべき被検査物を収容するための真空チャンバーと、前記被検査物上の異物によって乱反射したレーザ光線を検出するための検出器と、前記被検査物を処理するための複数のチャンバーを結合するための搬送用チャンバーを有する表面異物検査装置であって、前記被検査物を収容するための真空チャンバーと前記搬送用チャンバーとの間にバッファチャンバーを設け、前記バッファチャンバーが、前記搬送用チャンバー内の被検査物を搬入させるための第1開口部と、前記被検査物を載置するための保持台と、前記保持台に載置された被検査物を前記真空チャンバーへ搬出させるための第2開口部とを有してなることを特徴とする表面異物検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 15/14 ,  H01L 21/66