空気清浄装置及び処理装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金坂憲幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003307235
Publication number (International publication number)：2004116987
Application date： Aug. 29, 2003
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：

【課題】エアフィルタの性能の安定化及び寿命の延長が図れる清浄空気供給装置及び処理装置を提供する。【解決手段】送風機16と、該送風機16の下流に設けられ、気体中のパーティクルを除去するULPAフィルタ17bまたはHEPAフィルタと、前記送風機16の上流または下流に位置するように設けられ、送風機16による面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に補償するための整流部材18とを備え、前記整流部材18は面内不均一な開口率を有し、該整流部材の開口率の低い領域が前記送風機16の風速の高い領域に対応している。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

送風機と、該送風機の下流に設けられ、気体中のパーティクルを除去するULPAフィルタまたはHEPAフィルタと、前記送風機の上流または下流に位置するように設けられ、送風機による面内不均一な風速分布を面内均一な風速分布に補償するための整流部材とを備え、前記整流部材は面内不均一な開口率を有し、該整流部材の開口率の低い領域が前記送風機の風速の高い領域に対応していることを特徴とする空気清浄装置。

IPC (4)：

F24F7/06 , B01D46/42 , F24F7/00 , H01L21/02

FI (4)：

F24F7/06 C , B01D46/42 Z , F24F7/00 A , H01L21/02 D

F-Term (11)：

3L058BF01 , 3L058BF09 , 4D058JA14 , 4D058KB05 , 4D058KB11 , 4D058KC02 , 4D058QA01 , 4D058QA17 , 4D058QA21 , 4D058SA04 , 4D058TA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

処理装置及び処理装置内の気体の制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-230221 Applicant：東京エレクトロン株式会社

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