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J-GLOBAL ID：200903037881454269

加工不良判別機構を備えた加工用レーザー出射装置

Inventor： 岡田 駿一
Applicant, Patent owner： ピーエスエル株式会社
Agent (1)： 細井 勇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997320473
Publication number (International publication number)：1999138278
Application date： Nov. 06, 1997
Publication date： May. 25, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】リアルタイムで、微細な加工不良を識別するレーザー加工不良識別機構を備えたレーザー加工装置。【解決手段】加工用レーザー出射機構7は、レーザー加工機1の出射ユニット6の内部を構成し、加工機本体2のレーザー発振器3から発光されたレーザーの光路上に第3集光体15を配し、第3集光体を透過し平行光とされたレーザーを反射し、かつ該レーザーにより被加工物が加工される際に発生する加工光を透過できる誘電体反射膜を設けるベンダーミラー8によって反射されるレーザーの光路に第1集光体9を配し、加工光がベンダーミラーを透過した後の光路上に第2集光体10を配し、第2集光体の焦点面付近に受光部材としての第1及び第2光センサー11、12を配し、各光センサーは加工状態良否判定装置17に電気的に接続されている。第1、第2、第3集光体、ベンダーミラー、第1、第2光センサーはケース体13内に設けられている。

Claim (excerpt)：

加工用レーザー出射装置において、発光部から発光されて進行するレーザーの光路上に、該レーザーを反射し且つ該レーザーによって被加工物が加工される際に加工部から発生する、加工部温度を反映した加工光を透過することのできる誘電体反射膜が設けられてなるベンダーミラーを配設し、上記ベンダーミラーによって反射されて進行するレーザーの光路上に第1集光体を配設し、上記加工光が上記ベンダーミラーを透過した後の光路上に第2集光体を配設し、更に第2集光体の先であって第2集光体の焦点面付近に、温度を検知できる受光部材としての光センサー又は光センサーに光学的に連結された光伝達部材を複数配設してなることを特徴とする加工不良判別機構を備えた加工用レーザー出射装置。

IPC (8)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  B23K 31/00 ,  G01J 1/28 ,  G01J 5/08 ,  G02B 7/198 ,  H01S 3/101 ,  H04N 5/335

FI (9)：

B23K 26/00 P ,  B23K 26/06 Z ,  B23K 26/06 A ,  B23K 31/00 L ,  G01J 1/28 ,  G01J 5/08 E ,  H01S 3/101 ,  H04N 5/335 F ,  G02B 7/18 C