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J-GLOBAL ID：200903037885260728

素子冷却試験装置

Inventor： 谷 口 裕 哉 ,  中 山 宏 一 ,  増 田 薫
Applicant, Patent owner： アイシン精機株式会社 ,  テクノロ工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992044128
Publication number (International publication number)：1993245395
Application date： Feb. 29, 1992
Publication date： Sep. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、マニピユレータにより試料を正確に検出できるようにすることを目的とする。【構成】 極低温冷凍機の可動部により試料ステージが振動を受けるため、試料ステージとの相対運動量が0であるシリンダ上にマニピユレータを配設し、マニピユレータと試料との間の相対運動量を0にした。

Claim (excerpt)：

真空容器と、該真空容器内に配設される極低温冷凍機のコールドヘツド及びシリンダと、該コールドヘツド上に配設される試料ステージと、前記シリンダ外周上に移動可能に配設され、前記試料ステージ上の試料を操作できるマニピユレータとから成る素子冷却試験装置。

IPC (2)：

B01L 7/00 ,  G01N 25/00