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J-GLOBAL ID：200903037905690350

金属酸化物系の透明導電膜の製造方法

Inventor： 富田 成明 ,  多賀 直昭
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995121414
Publication number (International publication number)：1996319138
Application date： May. 19, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】従来よりも低い比抵抗(10-4Ω・cm台以下)を有し、また、良好な結晶性を有する透明導電膜を安定的に製造することが可能な金属酸化物系の透明導電膜の製造方法を提供すること。【構成】透明基体上に成膜された金属酸化物系の透明導電膜に、該透明導電膜を貫通し、該透明基体に侵入する程度の高加速電圧で、イオン注入を行うことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

透明基体上に成膜された金属酸化物系の透明導電膜に、該透明導電膜を貫通し、該透明基体に侵入する程度の高加速電圧で、イオン注入を行うことを特徴とする金属酸化物系の透明導電膜の製造方法。

IPC (5)：

C03C 21/00 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/48 ,  H01B 13/00 503

FI (5)：

C03C 21/00 Z ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/48 Z ,  H01B 13/00 503 B