試料表面の検査方法およびこれを使用するX線分析装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉本修司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999021706
Publication number (International publication number)：1999316201
Application date： Jan. 29, 1999
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】表面検査装置と蛍光X線検出装置とを備え、作業者にとって作業し易く、精度の高いX線分析を行うことができる試料表面の検査方法およびその装置を提供する。【解決手段】試料表面の検査方法は、平板状の試料3の表面を検査して、その表面の物理的または化学的な状態の情報を取得し、その取得された表面情報を処理して表示器21の画面に分布図を表示し、この分布図の選択された任意の位置に1次X線14の分析スポット図を重ねて表示し、前記分布図の選択された任意の位置に対応する前記試料3の表面の位置を分析スポットに移動し、前記分析スポットに1次X線14を照射し、前記分析スポットから発生する蛍光X線17を検出してその部位に存在する元素を定性分析または定量分析する。

Claim (excerpt)：

平板状の試料の表面を検査して、その表面の物理的または化学的な状態の情報を取得し、その取得された表面情報を処理して表示器の上に前記試料の表面状態の分布図として表示し、この分布図上で選択された任意の位置に1次X線または検出器のスポット図を重ねて表示し、前記分布図の選択された任意の位置に対応する前記試料の表面の位置を分析スポットに移動し、前記分析スポットに1次X線を照射し、前記分析スポットから発生する蛍光X線を検出してその部位に存在する元素を定性または定量分析する試料表面の検査方法。

IPC (2)：

G01N 23/223 , H01L 21/66

FI (2)：

G01N 23/223 , H01L 21/66 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平3-181848
特開平3-018708
特開昭64-035838

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