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J-GLOBAL ID：200903037937770452

エリプソメトリー顕微鏡

Inventor： ロウ, ブルース, エム.
Applicant, Patent owner： カンサス ステイト ユニバーシティ リサーチ フアウンデーション
Agent (1)： 桑原 英明
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996528613
Publication number (International publication number)：1998501072
Application date： Mar. 20, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】エリプソメトリー顕微鏡10は、全般的に、単色の平行光の光線を放射する光源(14)、反射経路(60)に沿って試料から外へ反射するように、予め定めた角度で膜試料(58)上に衝突させるため、入射経路(56)に沿って光線を導く調節可能な支持組立体(12)、及び反射光線を検出するための検出器(34)を包含する。入射光線を楕円偏光させるため、偏光子(20)が入射経路(56)に沿って配置され、また、入射光線の楕円偏光を変更させるため、遠隔制御型可変リターダ(22)も入射経路(56)に沿って配置される。光線を拡張し、且つ反射光線のうち平行成分だけを通すことができるよう、膜試料(58)と検出器(34)間の反射経路(60)に沿って光線拡張子(30)を配置する。反射光線を解析する検光子(36)を検出器(34)に連結して膜試料(58)の厚さを決定する。

Claim (excerpt)：

薄膜試料の厚さを測定するための装置において、 単色の平行光の入射光線を放射する光源装置と; 予め決めた角度で膜試料に衝突するよう入射経路に沿って前記入射光線を誘導し、そこで複数の成分を含む反射光線が反射経路に沿って膜試料から反射するようにする装置と; 前記入射光線を楕円偏光させる偏光装置と; 前記入射光線の楕円偏光を変える装置と; 前記反射光線を検出するための検出装置と; 膜試料の厚さを決めるために前記反射光線を解析するための前記検出装置と結合させた解析装置と; 膜試料と前記検出装置間の前記反射経路にあって、前記反射光線を拡張し、且つ相互に関して平行である前記反射光線の前記成分の通過を許容する光線拡張装置とを含んで成る装置。

IPC (2)：

G01J 4/04 ,  G01B 11/06

FI (2)：

G01J 4/04 A ,  G01B 11/06 Z