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J-GLOBAL ID：200903037948466798

透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法

Inventor： 太田 裕樹 ,  吉岡 啓一 ,  多田 千代子
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小林 英一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997106647
Publication number (International publication number)：1998281954
Application date： Apr. 09, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 被観察試料の最表面近傍の断面組織観察を可能とする透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法の提供。【解決手段】 集束イオンビーム加工装置を用いた透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、集束イオンビーム加工に先立ち、予め、試料表面に、好ましくは樹脂皮膜である皮膜を形成する透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法。

Claim (excerpt)：

集束イオンビーム加工装置を用いた透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、集束イオンビーム加工に先立ち、予め、試料表面に皮膜を形成することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法。

IPC (3)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/31

FI (4)：

G01N 1/28 G ,  G01N 1/32 B ,  H01J 37/31 ,  G01N 1/28 N