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J-GLOBAL ID：200903037969683853
薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー およびこれを用いた変位検出方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993221006
Publication number (International publication number)：1995071952
Application date： Sep. 06, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：
【要約】【目的】 得られる信号電圧が大きく、針状チップの変位の確度が良い薄膜型変位センサーを設けたカンチレバーを提供する。【構成】 カンチレバーの可撓性プレート上に薄膜型変位センサーを複数設け、直列につなぐ。それぞれのセンサーの測定値の代数和をとる。
Claim (excerpt)：
片持ち型の可撓性プレートとその先端付近に設けられた針状チップとからなるカンチレバーにおいて、下部電極と、圧電または電歪特性を持つ中間層と、上部電極とからなる薄膜型変位センサーを前記可撓性プレート上の先端と根元との間に複数設け、これらが直列につながれていることを特徴とするカンチレバー。
Patent cited by the Patent：
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