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J-GLOBAL ID：200903037969683853

薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー およびこれを用いた変位検出方法

Inventor： 野村 達士 ,  渡辺 俊二
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993221006
Publication number (International publication number)：1995071952
Application date： Sep. 06, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 得られる信号電圧が大きく、針状チップの変位の確度が良い薄膜型変位センサーを設けたカンチレバーを提供する。【構成】 カンチレバーの可撓性プレート上に薄膜型変位センサーを複数設け、直列につなぐ。それぞれのセンサーの測定値の代数和をとる。

Claim (excerpt)：

片持ち型の可撓性プレートとその先端付近に設けられた針状チップとからなるカンチレバーにおいて、下部電極と、圧電または電歪特性を持つ中間層と、上部電極とからなる薄膜型変位センサーを前記可撓性プレート上の先端と根元との間に複数設け、これらが直列につながれていることを特徴とするカンチレバー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-072504
  
• 特開平4-350510
  
• 特開平4-072504
  
• 特開平4-350510