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J-GLOBAL ID：200903037982579640

静電チャック

Inventor： 石井 守 ,  梅津 基宏 ,  石田 弘徳 ,  丹治 清一 ,  塚本 恵三
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998189745
Publication number (International publication number)：2000012666
Application date： Jun. 19, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高い静電吸着力を有し、吸着した被吸着体の汚染が少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 電極2と、その上に設けられた絶縁層3とを有し、電極2に電圧を印加することにより、絶縁層3上に被吸着体Wを静電吸着する静電チャックであり、絶縁層3は、酸素欠損を有するジルコニアを主体とし、絶縁層3の体積抵抗率が108〜1014Ωcmである。

Claim (excerpt)：

電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層は、結晶中に酸素欠損を有するジルコニアを主体とし、絶縁層の体積抵抗率が108〜1014Ωcmであることを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

F-Term (3)：

3C016GA10 ,  5F031FF03 ,  5F031LL07