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J-GLOBAL ID：200903037989101834
流体塗布装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993154412
Publication number (International publication number)：1994339658
Application date： May. 31, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】 流体塗布装置において、塗布液の切り替えを容易にし、また、重ね塗りを可能にする。【構成】 スロット116で一定の膜厚に揃えた塗布液12a,12bを塗布対象物11の表面に供給する流体塗布装置(スロット式粘液噴出塗布装置)において、異なる塗布液12a,12bを塗布する2つの塗布ヘッド55a,55bを設け、それぞれ独立して駆動できるようにする。各塗布ヘッド55a,55bは単独で塗布することもでき、同時に駆動して重ね塗りすることもできる。
Claim (excerpt)：
流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置であって、前記塗布ヘッドを少なくとも2個以上備えたことを特徴とする流体塗布装置。
IPC (4)：
B05C 5/02
, G03F 7/16 501
, H01L 21/027
, H01L 21/52
Cited by examiner (6)
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