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J-GLOBAL ID：200903037997447090

ポジ型熱硬化感光材料

Inventor： 堤 義高 ,  田中 哲夫 ,  宮村 裕之 ,  長谷川 正積
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993242827
Publication number (International publication number)：1995098502
Application date： Sep. 29, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 段差上での塗布性が良好である固体撮像素子、液晶素子等の製造時に用いられるポジ型熱硬化感光材料を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感光剤及び熱硬化剤並びに溶媒からなる段差基板用ポジ型熱硬化感光材料において、溶媒の主成分が乳酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキルエステル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル又はプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートから選択される1種の溶媒と沸点が150°C以下の酢酸エステル系溶媒との混合溶媒であるポジ型感光材料。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、熱硬化剤としてパターニング後の加熱処理により耐熱性及び耐薬品性を付与させる熱硬化剤並びに溶媒からなるポジ型熱硬化感光材料において、該溶媒の主成分が乳酸アルキルエステル、アルコキシプロピオン酸アルキルエステル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル又はプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートから選択される1種の溶媒と沸点が150°C以下の酢酸エステル系溶媒の混合物であることを特徴とするポジ型熱硬化感光材料。

IPC (6)：

G03F 7/022 ,  G02B 1/04 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511