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J-GLOBAL ID：200903038000386670
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木内 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993078780
Publication number (International publication number)：1994265344
Application date： Mar. 12, 1993
Publication date： Sep. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】 試料表面の凸部に対する探針の衝突を回避するとともに、探針を迅速に移動させることができるようにする。【構成】 試料1の表面の画像を作成する光学顕微鏡装置9と、探針6を試料1表面に対して相対走査し、試料1表面のミクロ的な画像を得る狭域測定手段と,光学顕微鏡装置9で得た画像を記憶するための画像メモリ10aと、画像メモリ10aに記憶された画像から試料1の表面の三次元形状を認識する形状認識手段10bと、三次元形状に基づいて試料1の表面の凸部を迂回し得る探針6の現在位置から測定領域までの最短移動経路を判断し、探針6を相対移動させるプロ-ブ移動制御手段10cとを備えている.
Claim (excerpt)：
試料の表面の画像を作成する広域測定手段と、探針を前記試料表面に対して相対走査し、前記試料表面のミクロ的な画像を得る狭域測定手段とを備えた走査型プロ-ブ顕微鏡において、前記広域測定手段で得た画像から前記試料の表面の三次元形状を認識する形状認識手段と、前記三次元形状に基づいて前記試料の表面の凸部を迂回し得る前記探針の現在位置から測定領域までの最短移動経路を判断し、前記探針を相対移動させるプロ-ブ移動制御手段とを備えていることを特徴とする走査型プロ-ブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
