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J-GLOBAL ID：200903038062288372

水蒸気センサ

Inventor： 高橋 昇 ,  阿多 誠文
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993216771
Publication number (International publication number)：1995072108
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】 水蒸気量変化に対して高速応答性を示し、高感度、高機械的強度を有する水蒸気センサを提供する。【構成】 Cn (ただし、nは60,70,76,84等の幾何学的に球状化合物を形成し得る整数である。)で表される球状炭素類(いわゆるフラーレン)のプラズマ重合膜を検知素子として用いる。プラズマ重合膜は、(Cn+j )m (jは-10〜10の整数、mは正の整数である。)なる分子式で表され、シクロヘキサトリエニル部位同志が1,2-サイクル付加結合によりシクロブタン環を介して重合したCn 重合構造を部分的に有し、この構造がアモルファス状に分布した膜構造を有する。

Claim (excerpt)：

Cn (ただし、nは幾何学的に球状化合物を形成し得る整数である。)で表される球状炭素類のプラズマ重合膜を検知素子として用いたことを特徴とする水蒸気センサ。