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J-GLOBAL ID：200903038064957220

欠陥検査装置

Inventor： 臼井 正幸
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993025671
Publication number (International publication number)：1994241758
Application date： Feb. 15, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 光ディスク等の粗面上に存在する欠陥を極めて容易かつ感度良く検出する。【構成】 光源1はハロゲンランプ等の輝度の高い光源であり、この光源1から出射した光束は、光束投射手段であるシリンドリカルレンズ2によって、入射面内における発散角が略平行な状態に変換された後、光ディスク3の反射面6(被測定面)に照射され、破線で示す被測定領域5ができる。そして、反射面6により反射した光束は、スクリーン4上に投影される。

Claim (excerpt)：

拡散反射性を有する被測定面上に、光束を、その少なくとも一部がシーン臨界角より大きな入射角度で入射されるように投射する光束投射手段と、前記被測定面によって反射または散乱された光束を受光する受光手段とを有し、該受光手段を用いて前記被測定面上に存在する欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G11B 7/26