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J-GLOBAL ID：200903038086276782

狭帯域化レーザ発振装置

Inventor： 川上 威
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992018014
Publication number (International publication number)：1993218555
Application date： Feb. 04, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】レーザ光の取り出し効率を向上させて高出力化を図る。また、空間コヒーレンスを低減し、さらに波長選択素子の劣化を軽減する。【構成】全反射鏡12,シリンドリカル凹面鏡13,回折格子17,全反射鏡14およびレーザ媒質11とでレーザ共振器を構成する。波長選択素子であるエタロン15が回折格子17と全反射鏡17との間に設けられてレーザ発振スペクトラムを狭帯域化を図る。回折格子17からの強い光度の0次回折光19を出力レーザ光とし、弱い光度の1次回折光18を発振レーザ光の狭帯域化制御に使用する。

Claim (excerpt)：

第1の全反射鏡、前記第1の全反射鏡にレーザ媒質を挟んで対向配置されたシリンドリカル凹面鏡、前記シリンドリカル凹面鏡に前記レーザ媒質を挟んで対向配置された回折格子および前記回折格子に前記レーザ媒質を挟んで対向配置された第2の全反射鏡を備える光共振器を含み前記レーザ媒質の励起によりレーザ光を発振するレーザ発振手段と、前記回折格子と前記第2の全反射鏡との間に前記発振レーザ光の発振スペクトル波長の一部のみを通過させる波長選択素子とを有することを特徴とする狭帯域化レーザ発振装置。

IPC (3)：

H01S 3/106 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/081