放射線検出器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994076096
Publication number (International publication number)：1995280945
Application date： Apr. 14, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】2次元的に配置した放射線検出素子とこの放射線検出素子からの電気信号を処理する回路とを容易に構成することができ、2次元的な放射線の検出する。また、シンチレータと組み合わされた自己走査機能を持つイメージセンサのダイナミックレンジを拡大する。【構成】1つのシリコンウエハをマトリックス状に複数の領域に区画し、この区画された各領域毎に、1つの検出素子として、フォトダイオード、オペアンプからなる積分器、サンプルホールド回路、アドレススイッチをマウントし、この各領域をそれぞれシンチレータで覆うもの。

Claim (excerpt)：

入射された放射線のエネルギーを光エネルギーに変換するシンチレータとこのシンチレータからの光エネルギーを電気エネルギーに変換する複数個の光電気変換素子とからなる放射線検出器において、前記各光電気変換素子毎に、光電気変換素子から出力される電気エネルギーを積分するオペアンプを設け、前記光電気変換素子及び前記オペアンプの全てを同一のシリコンウエハ上に構成したことを特徴とする放射線検出器。

IPC (4)：

G01T 1/20 , A61B 6/03 320 , G01T 1/208 , H01L 27/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

放射線検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-224307 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
画像検出器及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-184056 Applicant：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
特開昭63-198890

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