Pat
J-GLOBAL ID：200903038109734325
スプレー熱分解法用製膜装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002336687
Publication number (International publication number)：2004167394
Application date： Nov. 20, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：
【課題】スプレー熱分解法により基板上に薄膜を形成する際に、原料溶液の無駄が少なく、製膜効率が高くでき、しかも基板上に形成された薄膜の厚さが均一になるようにすることにある。【解決手段】原料溶液をガラス板などの基板6にめがけて噴霧するスプレー部1と、このスプレー部1と基板6との間の空間を囲うフード11を備えたスプレー熱分解法用製膜装置を使用する。フード11は、円筒状または角筒状であり、フード11の基板6側の開口部の大きさを基板6の平面寸法よりも大きくし、基板6との間に隙間14を形成することが好ましく、またフード11の基板6側の位置に多数の小孔を形成することも好ましい。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
原料溶液を基板にめがけて噴霧するスプレー部と、このスプレー部と基板との間の空間を囲うフードを備えたことを特徴とするスプレー熱分解法用製膜装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (11)：
4D073AA01
, 4D073BB03
, 4D073DA01
, 4D073DB18
, 4D073DB19
, 4D073DD05
, 4F033AA14
, 4F033BA03
, 4F033DA01
, 4F033EA01
, 4F033LA01
