Pat

J-GLOBAL ID：200903038119213986

AlN焼結体およびその製造方法

Inventor： 塩井 恒介 ,  森口 敏和
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社
Agent (1)： 寺田 實
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991201281
Publication number (International publication number)：1993024930
Application date： Jul. 16, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】高熱伝導率を維持し、耐熱疲労特性の優れた AlN焼結体を提供する。【構成】AlN原料粉末、焼結助剤、酸素含有量調整剤、イットリウムの酸化物および/又は炭酸塩の配合量を所定の範囲に定め、更に脱脂後の成形体中に含まれる炭素量が一定の範囲におさまるよう配合を調整するこにより、 AlN焼結体の粒界相の組織を特定のものに制御するとともに、その組成を3Y2O3・5Al2O3相およびY2O3・Al2O3相にした AlN焼結体。

Claim (excerpt)：

粒界相を含有する AlN焼結体において、該焼結体切断面における粒界相の(a)平均周長が0.1〜15μm で、(b)平均最小径と平均最大径の比率が0.5〜1.0で、(c)平均粒径と AlN粒の平均粒径の比率が0.5以下であり、かつ該粒界相組成が3Y2O3・5Al2O3 およびY2O3・Al2O3 からなることを特徴とする AlN焼結体。