Pat
J-GLOBAL ID：200903038126491010
光学定数測定方法およびその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
津川 友士
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994295405
Publication number (International publication number)：1996152404
Application date： Nov. 29, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：
【要約】【目的】 透光性のある基板の裏面からの反射光ビームの影響を除去して光学定数を正確に測定する。【構成】 入射光ビームをレンズ3により集光させて透光性のある基板4の表面に入射し、透光性のある基板4からの反射光ビームをレンズ3によりアレイ検出器5に照射するに当って、基板4の裏面からの反射光ビームのビーム径を小さくし、このビーム径の範囲を除く範囲におけるセンサ素子からの出力信号に基づいて光学定数を算出する。
Claim (excerpt)：
透光性のある基板(4)表面に収束光または発散光を照射し、該収束光または該発散光の前記透光性のある基板(4)における反射光の光強度分布を検出し、該光強度分布のうち、前記収束光または前記発散光の前記透光性のある基板(4)表面における反射光の光強度分布に基づいて前記透光性のある基板(4)の光学定数または前記透光性のある基板(4)表面に形成された薄膜(4a)の光学定数を測定することを特徴とする光学定数測定方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
Show all
Return to Previous Page
