表面欠陥の検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小塩豊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997266911
Publication number (International publication number)：1999108641
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】逆反射スクリーンや油塗布装置を用いた従来の検査装置は、大型で且つ複雑であって、スペースの確保が困難であるなどの問題があり、また、被検査面が曲面状である場合に検査精度が低下する恐れがあるという問題があり、これらの問題を解決することが課題であった。【解決手段】被検査面Fに対して傾斜した照射角度θ1の照明手段1と、照射角度θ1よりも大きい撮像角度θ2の画像入力手段2と、画像処理手段3を備え、照明手段1および画像入力手段2の少なくとも一方が、被検査面F上の油の付着部Foと非付着部Fnの各光反射率に対応した光量調整機能を有する手段である表面欠陥の検査装置としたことにより、装置の簡略化や小型化を実現すると共に、油が部分的に付着している被検査面Fをそのままの状態で検査し得るものとし、また、曲面状の被検査面Fの確実な検査を可能にした。

Claim (excerpt)：

被検査面に対して傾斜した照射角度で光を照射する照明手段と、照明手段に対向して配置され且つ照明手段の照射角度よりも大きい撮像角度で被検査面を撮像する画像入力手段と、画像入力手段で撮像した画像から表面欠陥を抽出する画像処理手段を備え、照明手段および画像入力手段の少なくとも一方が、被検査面上の油の付着部と非付着部の各光反射率に対応した光量調整機能を有する手段であることを特徴とする表面欠陥の検査装置。

IPC (3)：

G01B 11/30 , G01N 21/47 , G01N 21/88

FI (3)：

G01B 11/30 Z , G01N 21/47 B , G01N 21/88 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

自動調光式表面性状測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-288975 Applicant：株式会社東海理化電機製作所
表面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-282909 Applicant：ソニー・テクトロニクス株式会社
表面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-297896 Applicant：日本鋼管株式会社

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