高純度感光性樹脂組成物の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994205257
Publication number (International publication number)：1996069112
Application date： Aug. 30, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：

【要約】【構成】感光性樹脂組成物を製造するに当り、該感光性樹脂組成物、または該感光性樹脂組成物を構成する各成分の一部あるいは全てを有機溶媒に溶解した溶液を、一般式(I):【化1】Al2 O3 ・nH2 O (I)(式中、nは0〜5の数を表わし、H2 Oは結晶構成成分としての水分を表わす。)で表わされる化合物から成る吸着剤と接触させることを特徴とする高純度感光性樹脂組成物の製造方法。【効果】本発明方法によって得られる感光性樹脂組成物は、金属不純物およびハロゲンイオンを低濃度まで除去することができるため、極めて高純度であり、IC製造用フォトレジスト等として有用である。

Claim (excerpt)：

感光性樹脂組成物を製造するに当り、該感光性樹脂組成物、または該感光性樹脂組成物を構成する各成分の一部あるいは全てを有機溶媒に溶解した溶液を、一般式(I):【化1】Al2 O3 ・nH2 O (I)(式中、nは0〜5の数を表わし、H2 Oは結晶構成成分としての水分を表わす。)で表わされる化合物から成る吸着剤と接触させることを特徴とする高純度感光性樹脂組成物の製造方法。

IPC (4)：

G03F 7/039 , B01D 15/00 , G03F 7/038 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

不純金属成分の低減された感電離放射線性樹脂組成物の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-258823 Applicant：富士写真フイルム株式会社, 富士ハントエレクトロニクステクノロジ-株式会社
特開昭59-231532
特開昭62-175454

Return to Previous Page