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J-GLOBAL ID：200903038183610794

プレーナ光導波路の作製方法及び得られたデバイス

Inventor： スハス ダッタトレヤ バンダーカー ,  ジョン バーネット マックチェスニー
Applicant, Patent owner： アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー
Agent (1)： 岡部 正夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992260456
Publication number (International publication number)：1993297236
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】 プレーナ光導波路の作製方法及び得られたデバイス【目的】 導波路ようなプレーナ光デバイスの作製方法とその装置を提供する。【構成】 下部クラッドを有する基板を準備し、下部クラッド上にコアガラスの粒子層を堆積させ、低温粘性シンタにより粒子層を固化させ、光導波路を形成するため、固化層をパターン形成し、上部クラッドを形成することにより、本発明に従いプレーナ導波路デバイスが作製される。ガラス層はスラリー浸透、遠心分離又は電気泳動により、短時間でかつ経済的に堆積できる。好ましい実施例において、基板はシリコンで、コアガラスはナトリウム-ボロシリケートである。

Claim (excerpt)：

基板を準備する工程、基板上に、下部クラッドとして働くガラス層を堆積させる工程;下部クラッド上に、それより大きな屈折率を有するガラスの粒子層を堆積させる工程;粘性シンタにより粒子層を固化させる工程;光導波路コアを規定するために、固化層をパターン形成する工程;コアより低い屈折率を有する上部クラッドとして働かせるために、パターン形成したコア上に、ガラスの層を堆積させる工程を含むプレーナ光デバイスの作製方法。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  C03B 8/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭57-139710
  
• 特開昭56-085708