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J-GLOBAL ID：200903038184635200

楕円偏光入射による複屈折板の測定法

Inventor： 木原 利喜
Applicant, Patent owner： 学校法人近畿大学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004109921
Publication number (International publication number)：2005292028
Application date： Apr. 02, 2004
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：

【課題】楕円偏光入射による複屈折板の方位角ψと絶対的相対位相差 ρtolの測定法を示す。【解決手段】従来の楕円偏光入射を使用する測定方法では、 絶対的相対位相差ρtolの測定は予め測定した校正表との測定強度の比較から決める。本発明は楕円偏光入射による複屈折板からの射出光を1/4波長板Q2と偏光子P2で構成される検光子系で数2の方法により測定する。これにより、任意の波長の入射光によるQ2の位相誤差を克服できる。それゆえ、楕円偏光の楕円率角εと方位角θが既知の場合、ψとρはそれぞれ数3と数4で得ることができ、それを位相結合することにより任意の方位角ψと絶対的相対位相差ρ tolを得ることができる。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

楕円偏光入射を利用して、複屈折板の方位角ψと絶対的相対位相差ρtolをアークタンゼント関数から解析する方法。この方法は多波長の入射光の使用による複屈折板の動的測定に利用できる。

IPC (1)：

G01B11/16

FI (1)：

G01B11/16 Z

F-Term (17)：

2F065AA65 ,  2F065BB03 ,  2F065BB22 ,  2F065FF50 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065HH10 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ26