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J-GLOBAL ID：200903038196837666

2段伸縮装置

Inventor： 畑野 直紀
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン山梨株式会社
Agent (1)： 櫻井 俊彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991189252
Publication number (International publication number)：1993011077
Application date： Jul. 03, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：

【要約】〔目的〕半導体ウェハの検査装置のCCDカメラの昇降機構などへの応用に適した小型の伸縮装置を提供する。〔構成〕板状又は棒状の長尺体(1a)及びこの長尺体の長手方向に摺動自在に装着される摺動体(1c)を有する第1のスライダ(1)と、この第1のスライダの摺動体上に固定されると共にその長尺体とほぼ同一の長さを有する板状又は棒状の長尺体(2a)及びこの長尺体(2a)の長手方向に摺動自在に装着される摺動体(2c)を有する第2のスライダ(2)と、第1のスライダの駆動機構(3a,3b,3c)と、第2のスライダの摺動体2cと第1のスライダの長尺体の先端部分との間に滑車4cを介して張られたワイヤ4aを含む第2のスライダの自動駆動機構とを備える。

Claim (excerpt)：

板状又は棒状の長尺体及びこの長尺体の長手方向に摺動自在に装着される摺動体を有する第1のスライダと、この第1のスライダの摺動体上に固定されると共に前記第1のスライダの長尺体とほぼ同一の長さを有する板状又は棒状の長尺体及びこの長尺体の長手方向に摺動自在に装着される摺動体を有する第2のスライダと、前記第1のスライダの駆動機構と、前記第2のスライダの長尺体の根元部分に固定された滑車その他の滑動機構及びこの滑動機構によって折り返されながら前記第2のスライダの摺動体と前記第1のスライダの長尺体の先端部分との間に張られたワイヤを有する第2のスライダの自動駆動機構とを備えたことを特徴する2段伸縮装置。

IPC (2)：

G12B 5/00 ,  B25J 18/02