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J-GLOBAL ID：200903038203779006

ファイングレインミリング加工装置及びその方法

Inventor： 今山 寛隆 ,  深沢 克也 ,  藤沢 政泰 ,  萩原 芳樹
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992048229
Publication number (International publication number)：1993253841
Application date： Mar. 05, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、被加工物に高精度な彫刻を施し、長期間にわたり精度の安定したファイングレインミリング装置を目的とする。高圧流体に粉体を混合しマスクで覆われた被加工物に吹き付けることにより前記被加工物を所望形状に加工するファイングレインミリング加工装置において、前記被加工物に前記粉体を吹き付ける吹き付け手段と、前記被加工物に吹き付けられ表面に付着した粉体を高圧流体を吹き付けることにより除去する除去手段とを有することを特徴とするファイングレインミリング加工装置。【効果】複数の被加工物に対してファイングレインミリング加工して、マスク寸法を正確に転写することができ、しかも均一な加工深さを得ることができる。また、加工室内における摺動部の損傷がなく、運動精度の安定化及び装置寿命の長期化に寄与する。

Claim (excerpt)：

高圧流体に粉体を混合しマスクで覆われた被加工物に吹き付けることにより前記被加工物を所望形状に加工するファイングレインミリング加工装置において、前記被加工物に前記粉体を吹き付ける吹き付け手段と、前記被加工物に吹き付けられ表面に付着した粉体を高圧流体を吹き付けることにより除去する除去手段とを有することを特徴とするファイングレインミリング加工装置。

IPC (3)：

B24C 3/12 ,  B24C 1/04 ,  B24C 9/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-015975
  
• 特開昭63-109978
  
• 特公昭43-004487
  
• 特開昭52-126590