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J-GLOBAL ID：200903038212279695

セラミック被覆部材とその製造方法

Inventor： 田村 元紀
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 井上 雅生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992273536
Publication number (International publication number)：1993214512
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： Aug. 24, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 工具鋼、軸受鋼を基材として用いた耐摩耗性と耐食性に優れたセラミック被覆部材とその製造方法を提供するものである。【構成】 工具鋼、軸受鋼を基材とし、窒化チタン、炭化チタンまたは炭窒化チタン膜であって当該膜をTiCxN1-xと表すとき、前記の基材の表面に0≦X≦0.1で膜厚0.5μm以上2.0μm以下の界面層、0.6≦X≦1.0で膜厚0.5μm以上5.0μm以下の中間層、さらに0≦X≦0.6で膜厚1.0μm以上5.0μm以下の最表層からなる皮膜を成膜する。皮膜の作成は、蒸発源を金属チタンとし、窒素ガス、アセチレンを含む反応ガスを使用し、アーク放電を利用したイオンプレーティング法によって組成を制御して成膜する。

Claim (excerpt)：

工具鋼、軸受鋼を基材とし、窒化チタン、炭化チタンまたは炭窒化チタン膜であって当該膜をTiCxN1-xと表すとき、前記の基材の表面に0≦X≦0.1で膜厚0.5μm以上2.0μm以下の界面層、0.6≦X≦1.0で膜厚0.5μm以上5.0μm以下の中間層、さらに0≦X≦0.6で膜厚1.0μm以上5.0μm以下の最表層からなる皮膜を成膜してなることを特徴とするセラミック被覆部材。

IPC (3)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C23C 28/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-170559
  
• 特開昭53-082672