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J-GLOBAL ID：200903038250641101

位置調整装置

Inventor： 盛田 昭彦
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002235451
Publication number (International publication number)：2004075240
Application date： Aug. 13, 2002
Publication date： Mar. 11, 2004
Summary：

【課題】高精度な微位置調整が可能な位置調整装置を提供すること。【解決手段】有底筒状容器14内に合金鋼の基板20を設け、この基板20上に順次鋼球23〜25、可動支持板27を設けてX-Y-θ調整部13を構成し、このX-Y-θ調整部13上にネジジャッキ部11および可動ホルダ30を設置し、ネジジャッキ部11の雄ネジ部32に螺合する上下動しない駆動雌ネジ36と一体に設けた調整用ナット37を回転させることにより雄ネジ部32を上下方向に移動させ、被位置調整体の荷重による重負荷を調整用ナット37と可動ホルダ30間にスラスト玉軸受け45を介在させることにより高精度な位置調整を可能にする。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

水平移動面を挟んで複数のボルト取付部を設けこれらのボルト取付部に前記水平移動面に向けてそれぞれ水平位置固定ボルトを取付けた固定ホルダと、 前記固定ホルダの水平移動面に前記ボルト取付部との間に移動空間を残して水平配置された、対向する支持板間に複数の支持球体を配設してなる可動支持板と、 前記可動支持板上に設置された垂直方向にネジジャッキ保持孔を設けた可動ホルダと、 前記可動ホルダのネジジャッキ保持孔に保持部を嵌合させたネジジャッキと、 前記ネジジャッキの雄ネジ部に螺合させた駆動雌ネジと、 前記駆動雌ネジの下面部と前記可動ホルダの上面との間に介在させたスラスト軸受と を有することを特徴とする位置調整装置。

IPC (6)：

B66F3/46 ,  F16C19/12 ,  F16C29/04 ,  F16C33/32 ,  F16C33/34 ,  F16H25/20

FI (6)：

B66F3/46 ,  F16C19/12 ,  F16C29/04 ,  F16C33/32 ,  F16C33/34 ,  F16H25/20 E

F-Term (28)：

3J062AA60 ,  3J062AB21 ,  3J062BA14 ,  3J062BA35 ,  3J062CD02 ,  3J062CD23 ,  3J101AA01 ,  3J101AA32 ,  3J101AA53 ,  3J101AA64 ,  3J101BA10 ,  3J101BA70 ,  3J101BA77 ,  3J101EA02 ,  3J101FA48 ,  3J101FA55 ,  3J101GA60 ,  3J104AA12 ,  3J104AA19 ,  3J104AA23 ,  3J104AA24 ,  3J104AA67 ,  3J104AA69 ,  3J104BA80 ,  3J104CA02 ,  3J104DA13 ,  3J104DA20 ,  3J104EA10