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J-GLOBAL ID：200903038254004297

超高純度窒素ガス製造方法およびそれに用いる装置

Inventor： 木山 洋実 ,  宮本 篤 ,  菊地 延尚
Applicant, Patent owner： 大同ほくさん株式会社
Agent (1)： 西藤 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998132392
Publication number (International publication number)：1999325720
Application date： May. 14, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】安価な設備で、有効活用が可能な超高純度窒素ガス製造方法を提供する。【解決手段】原料空気を圧縮したのち低温に冷却して精留塔7に導入し、ここで深冷液化分離して超高純度窒素ガスを製造し、上記深冷液化分離に要する寒冷量の一部を、当該深冷液化分離系外から供給される高純度液体窒素の寒冷エネルギーで充当する方法であって、精留塔7上部の凝縮器9で生成された還流液(超高純度液体窒素)の一部を取り出して超高純度液体窒素タンク25に貯留し、バックアップ時に、超高純度液体窒素タンク25に貯留した超高純度液体窒素を気化して用いる。

Claim (excerpt)：

原料空気を圧縮したのち低温に冷却して精留手段に導入し、ここで深冷液化分離して超高純度窒素ガスを製造し、上記深冷液化分離に要する寒冷量の一部を、当該深冷液化分離系外から供給される高純度液体窒素の寒冷エネルギーで充当する方法であって、上記深冷液化分離に際し得られる超高純度液体窒素の一部を上記精留手段から取り出して貯留し、バックアップ時に上記貯留した超高純度液体窒素を気化して用いるようにしたことを特徴とする超高純度窒素ガス製造方法。

IPC (2)：

F25J 3/04 103 ,  F25J 3/04

FI (2)：

F25J 3/04 103 ,  F25J 3/04 D