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J-GLOBAL ID：200903038256713422

圧力センサ及びその製造方法

Inventor： 東山 恵三 ,  山本 啓介 ,  遠山 修
Applicant, Patent owner： 三菱電線工業株式会社
Agent (1)： 藤本 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994104629
Publication number (International publication number)：1995286923
Application date： Apr. 19, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 カテーテル内視鏡のホットバルーンの内圧検知など、血管等の生体内や細管に適用できる超小型物も容易に形成できる圧力センサを得ること。【構成】 単繊維からなる光ファイバ(2)の先端にその光ファイバと同径以下の半導体からなるダイヤフラム(1)が接合されてなる圧力センサ、及び前記光ファイバと同径以下のダイヤフラム部の外側に易エッチング層からなる光ファイバ案内孔付のフランジ部を有する半導体基板を、単繊維からなる光ファイバの先端に前記の光ファイバ案内孔を介して装着接合後、その光ファイバ案内孔付のフランジ部をエッチング除去してダイヤフラム部を光ファイバの先端に孤立させる圧力センサの製造方法。【効果】 単繊維からなる光ファイバと同径以下のダイヤフラムを有する極細の光検知式圧力センサが容易に得られる。

Claim (excerpt)：

単繊維からなる光ファイバの先端に、その光ファイバと同径以下の半導体からなるダイヤフラムが接合されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (4)：

G01L 9/00 ,  A61B 5/0215 ,  G02B 6/00 ,  H01L 29/84

FI (2)：

A61B 5/02 331 D ,  G02B 6/00 B