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J-GLOBAL ID：200903038267821219

X線顕微鏡用光学装置

Inventor： 中津井 久 ,  小川 公一 ,  加藤 義章 ,  児玉 了祐
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995069613
Publication number (International publication number)：1996271697
Application date： Mar. 28, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【目的】 X線顕微鏡装置やX線露光装置に好適な広視野角と高分解能を両立したX線光学装置を提供すること。【構成】 2個の双曲筒ミラー(1,2)と、2個の楕円筒ミラー(3,4)とを組み合わせ、2個の双曲筒ミラーは互いに直交するように配置し、これに接して、2個の楕円筒ミラーを互いに直交して配置している。

Claim (excerpt)：

2個の双曲筒ミラーと2個の楕円筒ミラーとを組み合わせたことを特徴とするX線光学装置。

IPC (4)：

G21K 1/06 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G21K 1/06 M ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/30 531 A